发布时间:2025/8/13 10:40:19 人气:63
高纯氩气的制备装置和方法,结合工业案例说明如何将普通工业氩气(99.9%)提纯到99.9999%(6N级),成本降低50%以上:
专利装置是三级净化流水线(见流程图),核心是阶梯式除杂+智能再生:
一级“除氧筛”(TY净化塔)
材料:碳基脱氧剂(如T3093型)
原理:像“活性炭吸甲醛”,在280℃高温下让氧气与碳反应 →
效果:氧气从3000ppm降至≤1ppm
二级“脱水筛”(分子筛双塔XF1/XF2)
材料:13X分子筛(类似高效干燥剂)
原理:室温下吸附水分/二氧化碳
智能再生:双塔交替工作,一塔吸附时另一塔用成品氩气反冲+380℃加热排污(无需氢气)
三级“终极净化”(HJ合金塔)
材料:锆铝合金(如ZrAl16)或海绵钛
原理:450~700℃下,杂质(氮气、烃类等)与金属反应生成固态化合物(如)
效果:所有杂质≤0.1ppm
✅ 创新设计:
热能循环:一级塔出口气体经换热器(RJ1)降温,减少能耗
微电脑控制:自动切换吸附/再生模式(如电磁阀DF1-7的开关组合)
以某LED芯片厂处理工业氩气为例(原气含氧0.1%、水汽200ppm):
动作:工业氩气进碳脱氧塔(280℃) → 氧变成CO2
数据:氧气从1000ppm→0.5ppm(达标)
模式 | 操作说明 | 时长 |
|---|---|---|
吸附模式 | 气体经分子筛塔 → 水/CO₂被吸附 | 4小时 |
再生模式 | 成品氩气反吹+380℃加热 → 杂质从DF3/4排出 | 2小时 |
效果:水汽从200ppm→1ppm,CO₂≤0.1ppm
动作:气体进锆铝合金塔(550℃) → 氮气/烃类形成ZrN、TiC等固体
结果:产出99.9999%超纯氩气,杂质<0.1ppm
原工艺:直接采购6N氩气(¥800/瓶),月耗2000瓶
成本高:年采购成本¥1920万,且运输风险大
设备部署:
在车间建三级净化装置(占地10㎡)
直接对接工业氩气管道(99.9%纯度,¥200/瓶)
运行数据:
指标 | 改造前(外购6N氩) | 改造后(自提纯) |
|---|---|---|
氩气成本 | ¥800/瓶 | ¥300/瓶(气源+电费) |
纯度 | 99.9999% | 99.9999%(实测) |
能耗 | - | 电费¥18万/年 |
年总成本 | ¥1920万 | ¥720万(气源)+¥18万 |
效益:
年省¥1182万(设备投资¥350万,回本周期<4个月)
芯片良率提升1.2%(因气体纯度稳定)
维度 | 传统合金净化法 | 本专利三级净化法 |
|---|---|---|
原料要求 | 必须4N级氩气(¥600/瓶) | 可用3N级工业氩气(¥200/瓶) |
脱氧成本 | 贵金属催化剂(¥3000/kg) | 碳基脱氧剂(¥100/kg) |
再生方式 | 需氢气+真空泵(危险且复杂) | 成品气反吹(一键自动) |
维护周期 | 每月更换合金(成本高) | 碳剂2年换1次,分子筛自动再生 |
纯度极限 | 99.999% | 99.9999%(6N级) |
💎 总结:此技术像“氩气提纯界的阶梯分馏”,特别适合半导体厂、光伏企业、科研机构。中国作为工业气体消费大国,用此法可打破外资气体公司垄断,把普通工业气变“超纯气”。