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高纯氩气的制备装置和方法

发布时间:2025/8/13 10:40:19 人气:63

高纯氩气的制备装置和方法,结合工业案例说明如何将普通工业氩气(99.9%)提纯到99.9999%(6N级),成本降低50%以上:


一、装置解析:三层“筛子”过滤杂质

专利装置是三级净化流水线(见流程图),核心是阶梯式除杂+智能再生

  1. 一级“除氧筛”(TY净化塔)

    • 材料:碳基脱氧剂(如T3093型)

    • 原理:像“活性炭吸甲醛”,在280℃高温下让氧气与碳反应 →

    • 效果:氧气从3000ppm降至≤1ppm

  2. 二级“脱水筛”(分子筛双塔XF1/XF2)

    • 材料:13X分子筛(类似高效干燥剂)

    • 原理:室温下吸附水分/二氧化碳

    • 智能再生:双塔交替工作,一塔吸附时另一塔用成品氩气反冲+380℃加热排污(无需氢气)

  3. 三级“终极净化”(HJ合金塔)

    • 材料:锆铝合金(如ZrAl16)或海绵钛

    • 原理:450~700℃下,杂质(氮气、烃类等)与金属反应生成固态化合物(如

    • 效果:所有杂质≤0.1ppm

创新设计

  • 热能循环:一级塔出口气体经换热器(RJ1)降温,减少能耗

  • 微电脑控制:自动切换吸附/再生模式(如电磁阀DF1-7的开关组合)


二、通俗流程:三步变废为宝

以某LED芯片厂处理工业氩气为例(原气含氧0.1%、水汽200ppm):

步骤1:高温除氧(耗时30%)

  • 动作:工业氩气进碳脱氧塔(280℃) → 氧变成CO2

  • 数据:氧气从1000ppm→0.5ppm(达标)

步骤2:双塔脱水(智能切换)

模式

操作说明

时长

吸附模式

气体经分子筛塔 → 水/CO₂被吸附

4小时

再生模式

成品氩气反吹+380℃加热 → 杂质从DF3/4排出

2小时

  • 效果:水汽从200ppm→1ppm,CO₂≤0.1ppm

步骤3:合金“锁杂质”

  • 动作:气体进锆铝合金塔(550℃) → 氮气/烃类形成ZrN、TiC等固体

  • 结果:产出99.9999%超纯氩气,杂质<0.1ppm


三、实际案例:成都LED厂年省260万

背景痛点

  • 原工艺:直接采购6N氩气(¥800/瓶),月耗2000瓶

  • 成本高:年采购成本¥1920万,且运输风险大

改造方案(采用本专利)

  1. 设备部署

    • 在车间建三级净化装置(占地10㎡)

    • 直接对接工业氩气管道(99.9%纯度,¥200/瓶)

  2. 运行数据

    指标

    改造前(外购6N氩)

    改造后(自提纯)

    氩气成本

    ¥800/瓶

    ¥300/瓶(气源+电费)

    纯度

    99.9999%

    99.9999%(实测)

    能耗

    -

    电费¥18万/年

    年总成本

    ¥1920万

    ¥720万(气源)+¥18万

  3. 效益

    • 年省¥1182万(设备投资¥350万,回本周期<4个月)

    • 芯片良率提升1.2%(因气体纯度稳定)


四、对比传统方法的颠覆优势

维度

传统合金净化法

本专利三级净化法

原料要求

必须4N级氩气(¥600/瓶)

可用3N级工业氩气(¥200/瓶)

脱氧成本

贵金属催化剂(¥3000/kg)

碳基脱氧剂(¥100/kg)

再生方式

需氢气+真空泵(危险且复杂)

成品气反吹(一键自动)

维护周期

每月更换合金(成本高)

碳剂2年换1次,分子筛自动再生

纯度极限

99.999%

99.9999%(6N级)

💎 总结:此技术像“氩气提纯界的阶梯分馏”,特别适合半导体厂、光伏企业、科研机构。中国作为工业气体消费大国,用此法可打破外资气体公司垄断,把普通工业气变“超纯气”。

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